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可检测自适应压力调整器泄露状态的设备

719   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:17:30
本发明涉及一种可检测自适应压力调整器泄露状态的设备，例如是一种化学干法蚀刻设备。所述设备设置有处理腔对置于该处理腔内的晶圆或基板进行加工处理，还设置有通过抽气管道与所述处理腔连通进行抽气的干式抽气泵；所述抽气管道上依次设置有自适应压力调整器和隔离阀，使来自所述处理腔的气体，先流过所述自适应压力调整器，再通到所述隔离阀。通过改变自适应压力调整器与隔离阀在抽气管道上的排布顺序，能够在对处理腔的日行检测中，完成对自适应压力调整器泄露情况的检测，减少由此泄露带来的产品质量隐患。
声明：
“可检测自适应压力调整器泄露状态的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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