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工艺腔室气体检测系统及其操作方法

991   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:13:09
本发明提供了一种工艺腔室气体检测系统及其操作方法，该检测系统包括一腔体、一抽气单元、一抽气管、一连接管以及一气体检测器。前述腔体配置于执行化学气相沉积工艺，抽气管连接腔体与抽气单元，连接管连通抽气管，气体检测器则设置于该连接管上，并用以检测来自该腔体内的气体中的氧气含量。本发明的工艺腔室气体检测系统可通过气体检测器检查腔体是否有微小外漏，因而可及时停止CVD工艺与作适当处理以避免过多不良的生成品产生，进而提升工艺品质。
声明：
“工艺腔室气体检测系统及其操作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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