一种研磨液、过抛和终点检测方法及装置、抛光设备,所述终点检测方法,包括:利用包含显色剂的研磨液对需要抛光的物质进行化学机械抛光;收集从化学机械抛光设备的抛光垫上流出的研磨液;利用比色法获知从抛光垫上流出的研磨液中包含的需要抛光物质的浓度,所述需要抛光物质的浓度逐渐减小到预定范围内,或者研磨液中需要抛光物质的浓度在预定范围内且抛光的时间大于预定时间,或者研磨液中需要抛光物质的浓度第二次在预定范围内,输出终点检测信号。本技术方案可以有效防止晶圆的过抛问题。
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