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涡流检测装置及系统

744   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:08:35
本发明提供了一种涡流检测装置及系统，属于化学抛光设备技术领域，该涡流在线终点检测装置包括：抛光垫、涡流传感器和导线；涡流传感器设置在抛光垫内，导线与涡流传感器连接，且导线的外接端引出于抛光垫外部。该涡流检测装置解决了现有化学机械抛光设备中涡流在线终点检测系统检测距离长，造成的检测信号不理想，以及检测探头突出抛光台表面造成的检测传感器易损坏的问题。该涡流检测系统包括抛光台、信号采集处理模块、控制装置以及上述的涡流检测装置；抛光垫与抛光台连接，涡流传感器通过导线与信号采集处理模块连接，信号采集处理模块用以将检测信号传输至控制装置，进而更准确检测被测物体的薄膜厚度。
声明：
“涡流检测装置及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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