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电化学处理器对准系统

1136   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:06:50
一种基板电镀处理器，该基板电镀处理器具有在支撑结构上的容器和相对于该支撑结构而固定定位的头部支座。具有转子的头部装设至该头部支座上。与该头部支座相关联的举升器使该头部移动而与该容器接合或脱离。可装设至该转子的对准组件，该对准组件具有至少一个传感器，该传感器用以在该头部接合于该容器时检测该容器的内部表面的一位置。该传感器可为定位以接触该容器的该内部表面的物理接触传感器。
声明：
“电化学处理器对准系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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