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金属有机物化学气相淀积设备的恒流配气系统及控制方法

1028   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:22
本发明公开一种金属有机物化学气相淀积设备的恒流配气系统及控制方法,该配气系统主要包括MO源模块,载气加载管路,MO汽输出管路,在载气加载管路设有质量流量计M1、真空阀A,在MO汽输出管路装有压力控制器、真空阀B,两管路经各自的真空阀与MO源模块连接,在载气加载管路和MO汽输出管路之间连接装有真空阀C的载气短路管路和装有质量流量计M2的载气分流管路。通过切换真空阀A、B和C控制MO源切换;控制M1和M2的流量比来改变MO蒸汽量;并使配气系统的气流量始终保持恒定。由此保证了反应室的温度、压力参数的稳定。经与现有技术制备的同类生成物进行PL谱对比测试证明,本发明的生成物淀积质量好,一致性好及具有MO资源充分利用不排污的优点。
声明：
“金属有机物化学气相淀积设备的恒流配气系统及控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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