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金属有机物化学气相沉积设备放空压力控制装置

797   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:28
本实用新型公开一种金属有机物化学气相沉积设备放空压力控制装置,该方法主要包括运行管线(1)、放空管线(2)、运行隔膜阀(3)、放空隔膜阀(4)、压力计(5)、蝶阀(6)、气体质量流量控制器(7)、金属有机源(8)、反应室(9)、尾气系统(10)。放空管线(2)上安装有压力计(5)和蝶阀(6),而且压力计(5)在蝶阀(6)的上游,两者形成负反馈回路,通过压力计(5)实时测量放空管线(2)压力,并由蝶阀(6)将设定压力和实测压力进行比较,蝶阀(6)通过调节开度完成放空管线(2)压力的实时控制。
声明：
“金属有机物化学气相沉积设备放空压力控制装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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