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用于化学湿法单面减薄单晶硅片的模具

953   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:28
本实用新型公开了一种用于化学湿法单面减薄单晶硅片的模具，包括主体部分，盖子部分和观测部分，各部分的要求：（a）主体形状为正多棱柱形，内腔室为圆柱体；棱柱一侧封闭，一侧为凹槽形开口结构，凹槽有内螺纹；棱柱顶面开口，有相连的两个边长不同的正方形；小正方形侧面存在对称凹槽，用于嵌合观测部件，大正方形开口为添加溶液位置。（b）盖子部分为凸台圆环形；凸台外侧车有外螺纹，用于结合主体部分凹槽螺纹。（c）观测部件整体大小与主体部分顶部小正方形开口大小一致；侧面对称凸起用于固定观测部件；下部开有孔洞形通道用于固定LED灯头。本实用新型模具具有操作简单，可原位观测硅片，密封性好等优点。
声明：
“用于化学湿法单面减薄单晶硅片的模具” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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