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加热器表面的修复方法及化学气相沉积设备

894   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:26
本发明涉及一种加热器表面的修复方法及化学气相沉积设备。所述修复方法包括：监测在加热器表面形成的沉积体层；获取所述沉积体层的厚度分布；当所述厚度分布为不均匀分布时，则基于所述厚度分布，向所述加热器表面喷射修复粉末，直至所述厚度分布为均匀分布。根据本发明的加热器表面的修复方法，能够提高化学气相沉积设备中加热器的使用寿命。
声明：
“加热器表面的修复方法及化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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