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化学机械平坦化加工动态声学识别方法、装置及介质

651   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:14
本发明公开了一种化学机械平坦化加工动态声学识别方法、装置及介质，属于模式识别技术领域。本技术方案包括：获取实时监测加工过程中工件发出的声学量；针对声学量，基于声压测量的单全息面模型进行加工声源和噪声声源的分离；依照工件特征对应的声强和频段，对降噪后的加工声源进行小波分解和时频转换；提取工件特征对应声信号频段的特征参数；加工声信号的聚合分类，识别加工动态；输出工件宏观和微观状态可视化信息，本发明设计的声学识别方法能够对噪声进行准确分离，同时将声学现象背后的工件特征和声信号特征参数作为声学识别结果的依据，以声信号样本点密度函数作为聚类中心初始值，提高了化学机械平坦化加工动态识别的准确性和时效性。
声明：
“化学机械平坦化加工动态声学识别方法、装置及介质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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