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化学机械抛光的优化方法及装置

829   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:13
本发明提供一种化学机械抛光的优化方法，该方法根据第n片图形片的动态权重因子、实际去除量、预测抛光速率、抛光时间以及预测补偿值预测第n+1片图形片的预算补偿值以及抛光时间，并根据预测得到的预算补偿值以及抛光时间对第n+1片图形片进行化学机械抛光。其中，第n片图形片的动态权重因子与抛光所用耗材的寿命周期影响因素有关，使得该方法可以在线优化由于抛光耗材不同寿命周期下的抛光速率差异导致的抛光时间算法误差，有效提高了抛光时间算法的精度。
声明：
“化学机械抛光的优化方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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