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自动化加工机台组与应用其的晶圆化学药品自动传输系统

1002   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:52
本发明公开一种自动化加工机台组，包含：多个加工机台；执行部件，包括支架及取用器，支架相邻加工机台，且取用器可移动地设置于支架上；视觉定位传感器，用以感测并定位至少一化学药品原料桶的开口的位置；至少一连接盖，借由取用器可拆卸地连接于至少一化学药品原料桶的开口；以及至少一连接管体，连接至少一连接盖与各加工机台中的供应槽。借此，本发明的自动化加工机台组与应用其的晶圆化学药品自动传输系统不需要借由人力，便可将已经使用完毕的化学药品原料桶与装满化学药品原料的化学药品原料桶进行替换，因而能有效节省人力。
声明：
“自动化加工机台组与应用其的晶圆化学药品自动传输系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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