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电化学淀积结果确定方法

842   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:50
本发明提供一种电化学淀积结果确定方法，将设计有沟槽的晶圆介质表面进行版图网格划分，根据测量获得所述网格内所有图形的特征参数，确定所述网格版图特征，根据当前计算网格及周围网格的版图特征，对网格版图电化学淀积最终形貌所属填充类型进行判定，根据电化学淀积金属工艺参数和所述网格版图所属类型，确定与版图特征相关的修正因子，计算网格内金属淀积量V、非沟槽区域介质表面金属厚度H和图形中沟槽区域沟槽与非沟槽区域金属表面高度差S，确定网格内金属的电化学淀积结果。本发明的方法通过引入与版图特征相关的修正因子，能够比较准确地预测电化学淀积后晶圆表面的淀积结果。
声明：
“电化学淀积结果确定方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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