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带压力传感器的微型化学推进器

933   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:49
带压力传感器的微型化学推进器,属于微推进技术和MEMS技术领域。为解决现有MEMS化学推进器无法反馈控制的问题,本发明公开了一种带压力传感器的微型化学推进器,它由上层硅片和下层硅片两部分粘接而成,并且是一系列基本推进单元的周期性阵列;每个基本推进单元的上层部分集成了燃烧室、点火药腔和喷管,喷管底部与燃烧室底部通过点火药腔相连通;每个基本推进单元的下层部分集成了压力传感器和点火器,其底部为内凹的棱台结构,顶部为压力敏感薄膜,压力传感器嵌于压力敏感薄膜中,点火器位于压力敏感薄膜的顶面。本发明使燃烧室内实时压力测量成为可能,同时省去了燃烧室和喷管键合的工艺步骤,避免了由于键合引起的对准误差。
声明：
“带压力传感器的微型化学推进器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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