本发明公开了全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置,用于清洗片盒本体,片盒本体的底部装载固定有承载架,包括箱体,箱体内设置有通过多个隔板分隔出来、且按照片盒本体的清洗移动方向设置的上料室、清洗室、冲洗室、烘干室;清洗室内、冲洗室内、烘干室内分别设置有清洗管路、冲洗管路和烘干管路;清洗室和冲洗室之间、冲洗室和烘干室之间均设置有隔离门;箱体内还安装有化学液喷雾罐和水蒸汽发生器,化学液喷雾罐和水蒸汽发生器均连通到清洗管路上,冲洗管路连通有水泵,而烘干管路连通有热风机;本发明还公开了全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒的方法,包括以下步骤:S1系统自检;S2片盒清洗;S3片盒冲洗;S4片盒烘干。
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