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具有集成载荷单元的化学药品存储设备

620   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:47
一种化学药品存储设备(100)和监测化学药品使用的方法。该设备和所公开的方法采用化学药品存储罐(102)和集成至一个可运输单元的载荷单元(104)。该载荷单元(104)能够补偿在半导体产业中所使用的附加的分配设备增加的重量。另外,当将化学药品从化学药品存储设备(100)抽出时,载荷单元(104)连续显示化学药品的重量(220)。被组合入载荷单元(104)本身的载荷单元(104)的控制逻辑包括这些功能。
声明：
“具有集成载荷单元的化学药品存储设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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