合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 晶圆用化学刻蚀设备

晶圆用化学刻蚀设备

1067   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:46
本实用新型公开了一种晶圆用化学刻蚀设备，包括刻蚀槽，刻蚀槽内放置有晶圆放置架，晶圆放置架上排列有晶圆，晶圆放置架包括相对竖直设置的主支架，滑动设置在主支架底部的支撑拉板以及横向设置在主支架中部的辅助支架，辅助支架上铰接有多个用于定位晶圆侧边的槽块，刻蚀槽底部与中转槽体通过进液管道以及出液管道循环连接，进液管道横向设置且其上设有气泡检测传感器，所述出液管道上设有循环泵。刻蚀均匀性好，可以防止二次刻蚀。
声明：
“晶圆用化学刻蚀设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：冷油器化学清洗系统
下一个：便携式工业自动化学习平台

与 “晶圆用化学刻蚀设备” 相关技术

▪ 绿色胶凝材料研与及超细全尾砂似膏体充填采矿技术
▪ 受热自转变技术构建Zn3(VO4)2/Zn2V2O7/ZnO三元高效异质结光催化剂及其对典型有机污染废水的高效处理工艺研究
▪ 轻合金表面自修复涂层技术
▪ 面向绿色再制造的钨基表面材料开发及产业化
▪ 零液体排放机械镀锌工艺
▪ 机械镀镉工艺及技术
▪ 可控结构闭孔泡沫铝锭的高效连铸铸造方法
▪ 有序多孔金属的设计优化及制备方法
▪ 绿色胶凝材料研发以及超细全尾砂似膏体充填采矿技术
▪ 旋流动态煅烧轻烧氧化镁成套化装备

相关化学分析设备推荐

MT150超声波测厚仪
多气体检测仪
微量元素测试仪-TRF-WY
土壤墒情实时监测系统-土壤监测仪
土壤水分温度测定仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪绿色胶凝材料研与及超细全尾砂似膏体充填采矿技术
▪受热自转变技术构建Zn3(VO4)2/Zn2V2O7/ZnO三元高效异质结光催化剂及其对典型有机污染废水的高效处理工艺研究
▪轻合金表面自修复涂层技术
▪面向绿色再制造的钨基表面材料开发及产业化
▪零液体排放机械镀锌工艺
▪机械镀镉工艺及技术
▪可控结构闭孔泡沫铝锭的高效连铸铸造方法
▪有序多孔金属的设计优化及制备方法
▪绿色胶凝材料研发以及超细全尾砂似膏体充填采矿技术
▪旋流动态煅烧轻烧氧化镁成套化装备

报名参会
更多+

第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日
2024中国铅锌产业科技大会
2024中国铅锌产业科技大会
2024年09月19日 ~ 21日
2024铝工业设备更新赋能产业链融通与高质量发展论坛
2024铝工业设备更新赋能产业链融通与高质量发展论坛
2024年09月24日 ~ 26日
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024年09月27日 ~ 29日
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
2024年12月20日 ~ 22日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:54
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:46
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:42
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:38
6 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:34
7 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:33
8 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第一届矿产品采样与制样技术研讨会
推广

热门技术
更多+

1水电站的尾水预埋件
2压力平衡机构
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记