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在恒压模式下电化学抛光的方法

727   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:46
本发明揭示了一种在恒压模式下电化学抛光的方法，包括：预设一个具有电流分布的恒流配方，包括晶圆上具有不同半径的多个位置以及为每个位置预设的电流；使用恒流配方抛光第一晶圆；在抛光过程中检测并记录每个位置的电压；生成具有电压分布的恒压配方，包括多个位置以及对应每个位置记录的电压；使用恒压配方抛光第二晶圆。
声明：
“在恒压模式下电化学抛光的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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