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晶圆装载装置和化学机械抛光系统

804   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:58:11
本实用新型公开了一种晶圆装载装置和化学机械抛光系统，所述晶圆装载装置包括：底座；托架，位于底座上方并能够竖向移动以装载和/或卸载晶圆；检测单元，设置于所述托架的外周侧，其包括摆动组件和检测件，所述摆动组件从所述托架的边缘向托架的中心延伸，所述摆动组件随着其上是否装载晶圆处于不同位置，所述检测件用于检测摆动组件的位置。
声明：
“晶圆装载装置和化学机械抛光系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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