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等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法及系统

990   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:44
本发明公开了一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法,所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室,所述的方法包括;传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输,关闭所述传输模块降至低位的操作功能;检测当前载板是否正常传输到指定位置,若是,则开启所述传输模块降至低位的操作功能;在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下,执行传输模块降至低位的操作。本发明可以防止载板摔落,提高载板传输的安全性,从而有效降低生产成本,提高生产效率。
声明：
“等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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