本发明揭示了一种化学液供液及回收再利用系统,该系统分别与原液槽、机台储液槽及废液回收槽连接,该系统包括:混液槽、温度检测调节装置、粘度检测调节装置及金属离子浓度检测调节装置。混液槽存放化学液,其中,化学液由原液槽或机台储液槽注入混液槽,或者由混液槽注入机台储液槽或废液回收槽,或者化学液从混液槽抽出后再注入混液槽。温度检测调节装置检测和调节化学液的温度,以使注入至混液槽内的化学液的温度达到目标温度。粘度检测调节装置检测和调节化学液的粘度,以使注入至混液槽内的化学液的粘度达到目标粘度。金属离子浓度检测调节装置检测和调节化学液的金属离子浓度,以使注入至混液槽内的化学液的金属离子浓度小于或等于目标浓度。本发明还揭示了一种化学液供液及回收再利用方法。
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