本发明提供的多元素的化学蒸气发生装置及其发生方法。该化学蒸气发生装置,包括吸液部、储液部、至少一个吸液泵、推液泵部、还原剂泵部、气液分离部、载气部和混合气体输出接口,吸液部、储液部、推液泵部、还原剂泵部、气液分离部、载气部各具有多个通道,各个部分具有的通道数量相同且各自的通道一一对应地连通,通道数量与需进行化学蒸气发生的元素的种类数量相同。本发明保证了在多种元素同时检测时,对于每种元素检测的准确性和可靠性,而且缩短了分析时间、减少了分析成本,提高了分析效率。
声明:
“多元素的化学蒸气发生装置及其方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)