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金属铜表面蚀刻工艺及自动化生产线

1040   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:31:28
本发明涉及蚀刻技术领域，提供一种金属铜表面蚀刻工艺，其步骤如下：表面微蚀处理；图案涂覆；蚀刻；表面防腐处理。其中，利用微蚀清洗剂在以下清洁条件下对铜表面进行处理，清洗温度为20～30℃，喷淋压力为1.0～1.5kg/cm2，清洗时间为30～60s；图案涂覆的步骤包括压膜、冷却暂存、曝光、撕膜、显影、液洗以及干燥；蚀刻包括一次蚀刻、补偿蚀刻、清洗、蓬松以及退膜；利用表面处理药剂在以下防腐条件下对铜表面进行处理，表面处理药剂的浓度为20％～100％，使用温度为20～30℃，喷淋压力为1.0～1.5kg/cm2，清洗时间为30～60s。本发明提供的金属铜表面蚀刻工艺，可避免金属铜提前氧化腐蚀而出现残次品，从而提高成品的良率。
声明：
“金属铜表面蚀刻工艺及自动化生产线” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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