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一种深紫外退偏器检测装置及检测方法

681   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:27:33
本发明公开了一种深紫外退偏器检测装置及检测方法。高端光刻机工作波长位于深紫外波段，可选用光学材料非常稀少，许多其他波段常用的偏振器件难以加工，这给退偏器的性能检测带来了困难。本装置中，单色光源发出的光依次通过布儒斯特起偏镜、待测退偏器和布儒斯特检偏系统。布儒斯特检偏系统包含布儒斯特检偏镜和探测器，由探测器记录出射强度。起偏和检偏镜的表面为平面，光以布儒斯特角入射，获得线偏反射光。由记录的出射光强度的最大值和最小值，可得到退偏光的偏振度，从而反映了退偏器的退偏性能。本发明提供的一种深紫外退偏器检测装置及检测方法具有结构稳定、光路简洁、元部件易生产制造等特点，满足了深紫外退偏器的检测需要。
声明：
“一种深紫外退偏器检测装置及检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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