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一种自动上下料系统

797   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:27:32
本发明涉及一种自动上下料系统，解决了常见的人工对晶圆片缺边或者缺口位置进行查找，导致工作效率低下的问题，其技术方案要点是，包括：用于容置晶圆片的料盒；对所述料盒起到承载作用的、驱动所述料盒沿水平方向或竖直方向动作的驱动装置；对所述驱动装置起到承载作用的工作台；承载于所述工作台上的、位于所述料盒一侧且用于定位所述晶圆片的缺边或缺口位置的检测组件；承载于所述工作台且位于所述检测组件一侧的、用于承载所述晶圆片、以对所述晶圆片进行性能检测的载台；以及，机械手装置，达到对晶圆片自动检测以及定位、上下料的目的。
声明：
“一种自动上下料系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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