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MOCVD制备ZnO透明导电薄膜的方法

972   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:25:56
一种MOCVD制备ZnO透明导电薄膜的方法,包括准备、清洗、光学检测、CVD镀膜、产品性能检测、成品包装6个步骤,其中CVD镀膜的方法为在CVD镀膜室中,以二甲基锌和氧气为源通过喷头喷到加热的玻璃片上,二甲基锌氧化生成ZnO。在镀膜过程中,还可以以三甲基镓或氧化铝作为掺杂源,获得镓掺杂ZnO(GZO)或铝掺杂ZnO(AZO)。对光学检测不合格的玻璃,可以重新清洗;对产品性能检测不合格的产品,可以送入装有稀盐酸的腐蚀池中,腐蚀掉玻璃表面的ZnO从而将玻璃重新回收利用。本发明充分考虑了ZnO透明导电薄膜工业生产中的各个环节,具有产品性能优异、易于实现产业化等优点。
声明：
“MOCVD制备ZnO透明导电薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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