本申请涉及一种用于高真空冷阴极电离规的性能检测装置,包括真空室、
真空泵、真空计和电离规,所述真空室的内腔通过连接管与所述电离规连接,所述电离规靠近所述真空室的一端设有连接块,所述连接管远离所述真空室的一端设有供所述连接块插入的连接槽,所述连接槽的槽壁上设有固定槽,所述固定槽内设有固定块,所述固定块可以在所述固定槽内滑移,所述连接管上设有驱动组件,所述驱动组件用于驱动所述固定块与所述连接块抵接。本申请具有方便安装电离规的效果。
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