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一种工件台动态性能检测方法

919   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:18:53
一种工件台动态性能检测方法,工件台动态性能检测装置，包括蓝光激光刻写模块、照明与成像模块、计算机、反射镜、透蓝反红二向色镜片、反红蓝透白光二向色分光平片、刻写物镜、红光激光测距模块、反射镜、调焦机构、压电陶瓷、测试片、工件台、控制器。将测试片放置于工件台上，通过调焦机构将蓝光聚焦到测试片的表面。同步控制工件台与控制器，完成工件台动态特性的速度、加速度、直线度、最小步距、往复运动特性、垂直度检测及重复定位精度检测。本发明将工件台的多种动态特性静态化表征，方便测量，检测精度高、检测灵敏度高。
声明：
“一种工件台动态性能检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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