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浙江有色金属化学分析技术理论与应用

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基于DNAzyme的双通道电化学方法及其在铅离子检测中的应用研究

本发明公开了基于DNAzyme的双通道电化学方法及其在铅离子检测中的应用研究,该方法主要设计了一种Pb2+特异性酶(Pb‑DNAzyme),并将这种酶通过Au‑S键修饰至金电极表面,当在Pb2+存在的条件下,DNAzyme被激活而将底物链切割成两部分,留在电极表面的那部分DNA片段由于Pb2+嵌入可以形成G4结构,通过结晶紫在G4表面的堆叠可以实现电化学方波伏安检测。另一方面,收集被剪切下的DNA片段,通过碱基互补配对原则可以被设计好的DNA三棱柱结构悬挂端捕获,引发杂交链(HCR)反应,随后将末端转移酶TdT、三磷酸腺嘌呤脱氧核苷酸dATP和三磷酸胸腺嘧啶脱氧核苷酸dTTP等引入电极表面,形成一个巨大的DNA网络结构,能够作为联吡啶钌(Ru(phen)32+)的载体进行信号放大,用于电化学发光信号测定。

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化学分析
浙江 - 宁波 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
猪圆环病毒2型化学发光检测试剂盒

本实用新型公开的是一种猪圆环病毒2型化学发光检测试剂盒,包括盒体,所述盒体内设有磁微粒偶联的多克隆抗体槽、吖啶酯标记的单克隆抗体槽、猪圆环病毒型抗原干粉槽、抗原定标品缓冲溶液槽、清洗液槽、化学发光预激发液A槽、化学发光激发液B槽、反应管槽、说明书放置槽,试剂盒将化学发光技术与免疫磁微粒相结合,与现有的猪圆环病毒2型检测技术相比,本实用新型试剂盒具有灵敏度高、特异性强、反应时间短等优点。

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化学分析
浙江 - 绍兴 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于库伦法检测铜上化学镀镍厚度的试剂

本发明公开一种用于库伦法检测铜上化学镀镍厚度的试剂,包括,硫氰酸铵,碘化钾,硫氰酸钾,碳酸钾。常温下,将所述硫氰酸铵30~50克,碘化钾30~40克,硫氰酸钾90~360克,碳酸钾30~50克溶于1ml水中,混合,充分溶解后;制备得出用于库伦法检测铜上化学镀镍厚度的试剂。本发明所述的试剂稳定性高,能够准确的检测出铜上化学镀镍的厚度。

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化学分析
浙江 - 宁波 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学纤维油剂含量检测方法

本发明公开了一种用金属箔盘在萃取法检测化学纤维油剂含量的过程中的应用,具体地,本发明公开了在萃取法检测化学纤维油剂含量过程中,用金属箔盘代替蒸馏烧瓶或者其他玻璃器皿蒸发萃取剂。本发明采用的金属箔盘比玻璃器皿质量轻,大大减少器皿原始质量,由金属箔盘替代玻璃器皿,大幅减少实验操作过程中仪器引起的误差,提高了检测准确性,且金属箔盘价格便宜,易于购买,存取方便、安全。本发明还提供了一种以超声法处理萃取过程的方法,操作简便、快速。

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化学分析
浙江 - 宁波 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于纳米二硫化钼和卟啉构建的高灵敏铬离子电化学传感器及其应用与检测方法

本发明属于电化学检测领域,具体涉及一种基于纳米二硫化钼和卟啉构建的高灵敏铬离子电化学传感器及其应用与检测方法。铬离子电化学传感器包括电极,所述电极表面修饰二硫化钼和卟啉化合物。本发明以电极为基础,在其表面修饰纳米二硫化钼和卟啉来构建高灵敏电化学传感器。实验结果显示,经过纳米二硫化钼和卟啉修饰的电极灵敏度高,在0.26V左右,传感器对Cr(Ⅵ)和Cr(Ⅲ)有很好的选择性。在一定浓度范围内,随着溶液中Cr(Ⅵ)的浓度增加,响应电流的强度也增加,两者间存在较好的线性关系。

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化学分析
浙江 - 温州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学检测用样品分层运输装置

本实用新型公开了一种化学检测用样品分层运输装置,包括外壳、第一箱体、第二箱体和第三箱体,所述外壳的内部顶端安装有第二箱体,且第二箱体的内部底端固定设置有样品管架,所述样品管架的内壁无缝包裹有橡胶防震层,所述样品管架的顶端固定有固定圆管,且固定圆管的内部均匀连接有弹簧,且弹簧远离固定圆管的一侧安装有弧形挡板,本实用新型通过设置有第一箱体、第二箱体和第三箱体,减少了样品挥发带来的影响,通过安装有固定圆管,使化学检测用样品分层运输装置在运输时避免了化学检测用样品器材倾斜碎裂,通过设置有弧形夹板,使化学检测用样品分层运输装置能够对多种样品器材进行存放固定,提高了运输的效率。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于二维材料碳化钛Mxenes检测食源性致病菌的电化学发光免疫传感器的制备方法

本发明公开了基于二维材料碳化钛Mxenes检测食源性致病菌的电化学发光免疫传感器的制备方法,特点是包括将氨基化Fe3O4纳米颗粒与食源性致病菌第一抗体连接制备的捕获单元的步骤;将纳米金棒分散碳化钛MXene薄层中,然后与N‑(4‑氨丁基)‑N‑乙基异鲁米诺和食源性致病菌第二抗体反应获得信号单元的步骤;最后依次将捕获单元、待测食源性致病菌溶液以及信号单元滴涂在电极上,得到基于二维材料Ti3C2Tx Mxenes检测食源性致病菌的电化学发光免疫传感器的步骤,优点是灵敏度和特异性高、检测结果可靠、步骤简单以及检测速度快。

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化学分析
浙江 - 宁波 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学发光检测外周血循环肿瘤细胞抗原的方法及试剂盒

本发明公开了一种电化学发光检测外周血循环肿瘤细胞抗原的方法及试剂盒。用富集缓冲液将血液样本移至离心管中,并定容,混匀;离心,弃上清,裂解红细胞并重选细胞;加富集缓冲液,重悬细胞;离心,弃上清,加入富集缓冲溶液和EpCAM抗体磁珠,混匀,孵育;将离心管静置于磁性底座后除去上清液;加入清洗缓冲液,洗涤后得磁性微球体系;之后将Ru(bpy)2(dcbpy)NHS-肿瘤细胞抗体加到磁性微球体系中,混匀,孵育;将离心管静置于磁性底座上,除去上清液;加入清洗缓冲液,洗涤;置于电致化学发光检测仪中,测出肿瘤细胞表面抗原的含量。发明可显著提高检测外周血中循环肿瘤细胞抗原的检测范围和灵敏度,快速、准确、伤害性小。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于土壤中重金属检测的电化学传感器

本实用新型公开了一种用于土壤中重金属检测的电化学传感器,包括装有土壤的电解杯,还包括集成复合电极、参比电极和微分电位仪,参比电极伸入至电解杯内并电信号输出至微分电位仪,集成复合电极包括工作电极、对电极和PET薄片,工作电极和对电极通过一导电银胶层贴覆在PET薄片上,工作电极和对电极电信号输出至微分电位仪,具有大比表面积和电化学催化活性,提升了电化学传感器的检测灵敏度;碳纳米管的分散材料是带负电长链聚苯乙烯磺酸钠,缠绕在碳纳米管表面,有利于碳纳米管分散稳定,并借助于静电作用,有利于重金属阳离子富集在工作电极表面,进一步提升了传感器的检测灵敏度;制备成本低廉,电极为一次性使用,避免电极表面更新的麻烦。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
利用电化学检测鸡肉新鲜度的方法

本发明公开了一种利用电化学检测鸡肉新鲜度的方法。本发明的方法包括如下步骤:(1)对不同新鲜度的鸡肉样品置于去离子水中清洗,然后将水分吸干,将肉搅碎,称取样品加入溶剂进行超声萃取,过滤得滤液;(2)将滤液滴涂于玻碳电极表面干燥,浸入到缓冲溶液中,与铂电极,银/氯化银电极组成三电极系统,使用线性伏安法扫描法对滤液进行电化学响应谱采集;(3)根据步骤(2)中的过程对未知新鲜度的鸡肉样品进行电化学响应谱采集;(4)将采集的电化学响应谱进行数据处理,提取特征值,比对未知新鲜度样品和已知新鲜度样品特征值的差异,确定鸡肉新鲜度。本发明的检测方法具有操作方法简单,反应灵敏,仪器成本低,速度快,准确性高等优点。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学需氧量原位检测仪

本申请涉及化学需氧量检测设备的技术领域,尤其是涉及一种化学需氧量原位检测仪,其包括采样管和检测仪的机体,机体上设有废水管,检测机体上通过抽水泵连接有取样水管,机体的侧壁上设有沿水平方向延伸的安装板,安装板上转动连接有沿竖直方向延伸的搅拌轴,搅拌轴的侧壁上设有搅拌叶,搅拌叶位于安装板的下方,安装板上设有电机,电机的输出轴呈竖直设置并同轴设有第一齿轮,第一齿轮啮合有第二齿轮,第二齿轮与搅拌轴同轴设置,搅拌轴的上端开设有贯穿于搅拌轴下端的取水槽,取样水管的一端与取水槽的槽壁转动连接,搅拌轴上滑动穿设有施力杆,施力杆的下端设有用于抵触搅拌轴下端并遮蔽取水槽的封闭板。本申请能够提高检测数据的准确性。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电极浆料以及用其在样品表面直接电化学检测的方法

本发明公开了一种电极浆料以及用其在样品表面直接电化学检测的方法,(1)将壳聚糖溶液分别与碳粉及银粉混合均匀,得碳浆和银浆;(2)将所得碳浆和银浆分别涂抹在待测样品表面,干燥后分别得碳浆电极和银浆电极;(3)以所得碳浆电极为工作电极、所得银浆电极为对电极和参比电极,对待测样品进行电化学检测。本发明在温和的条件下以碳粉,银粉或其他粉状材料,将其和壳聚糖为原料制备了一类多孔电极浆料,实现了直接在样品表面涂抹上电极,直接实现检测的方法。电极制备条件温和,具有操作简便,无需样品预处理的特点。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学气体传感器以及气体检测装置

本实用新型适用于电气领域,提供了一种电化学气体传感器及气体检测装置,包括电化学气体传感单元、第一运算放大器和第二运算放大器;所述电化学气体传感单元的一端与所述第一运算放大器的反向输入端连接,另一端分别与所述第一运算放大器的正向输入端、第二运算放大器的输出端连接;所述第二运算放大器的正向输入端接恒定电压;所述第一运算放大器的输出端与用于测量输出电压的单片机连接。本实用新型向由第一运算放大器和第二运算放大器组成的二级运放电路连续施加一定时间的测试信号,单片机测量二级运放电路的输出电压,通过测量在气体传感器的输出波形中是否存在预定电压的差值,判断气体传感器正常,电路结构简单,传感器故障检测时间短。

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化学分析
浙江 - 宁波 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测尿酸及尿酸氧化酶的电化学方法及其应用

本发明公开了基于银离子和谷胱甘肽的电化学传感器的制备方法及其应用,具体步骤如下:首先将氧化石墨烯分散液电化学方法镀到干净的裸玻碳电极上,利用GSH和Ag(I)之间的相互作用合成GSH‑Ag(I)复合物,使用前将该复合物溶液与100μL 0.02%wt Nafion溶液混合均匀,静置80min,滴涂到石墨烯修饰电极表面,制备GSH‑Ag(I)/GO/GCE,该电极对H2O2具有较强的电催化响应。利用UOx催化UA生成H2O2,分别固定UOx或UA浓度,通过复合物对H2O2的响应作为信号输出,实现对UA或UOx的高灵敏检测。优点是特异性好、灵敏度高、检测速度快、结果准确可靠、成本低。

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化学分析
浙江 - 宁波 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于快速扫描循环伏安技术检测铅离子的电化学传感器的制备方法及其应用

本发明公开了基于快速扫描循环伏安技术检测铅离子的电化学生物传感器的制备方法及其应用,特点是包括以下步骤:(1)采用传统的水热法制备得到磁性氨基官能化多壁碳纳米管混合液;(2)将四(4‑羧苯基)卟吩中加入到磁性氨基官能化多壁碳纳米管混合液中,通过氨基与羧基的结合得到NH2‑MWCNTs@Fe3O4/TCPP混合液;(3)取富集Pb2+后的NH2‑MWCNTs@Fe3O4/TCPP混合液滴涂于预处理过的磁性玻碳电极表面,通过磁性作用纳米复合材料即被牢固地吸附在电极表面,在室温下自然晾干即完成电化学传感器的制备,可用于快速扫描循环伏安技术检测铅离子的应用中,优点是高灵敏度、高选择性以及操作简单快速。

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化学分析
浙江 - 宁波 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于生物活性物质连续电化学检测的微电极、生物传感器及制备方法

本发明提供一种用于生物活性物质连续电化学检测的微电极、生物传感器及制备方法,涉及电化学传感器领域。用于生物活性物质连续电化学检测的微电极的一端为连接端,另一端为插入端,包括分别作为与外电路连接的两极的外管和内芯。外管包括金属材料的多孔管体,以及沉积于多孔管体的内外表面的贵金属膜或碳膜,固定于多孔结构内外部的碳纳米管及酶反应试剂;内芯包括磁性材料的芯体,以及镀设于芯体的表面的银及氯化银膜;外管同端套设于内芯外部,且二者之间填充有聚合物电解质。本发明将正负电极结合成一体,减少对人体的创口数量,保证监测信号的稳定和灵敏度。

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化学分析
浙江 - 嘉兴 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于双抗体夹心均相化学发光法猪瘟病毒检测试剂盒及其制备方法和应用

本发明公开了一种基于双抗体夹心均相化学发光技术的猪瘟病毒检测试剂盒,所述试剂盒包括试剂R1、试剂R2、试剂R3、阳性对照和阴性对照,本发明所述试剂R1中的供体微球能够在680nm光的激发下产生单体氧;所述试剂R2中的受体微球能够与单体氧反应生成可检测的615nm化学发光信号。因此在检测时不需要清洗和分离,可以直接检测化学发光信号,从而实现猪瘟病毒的检测。另外,本发明的试剂盒10min内即可完成抗体检测,且本发明的试剂盒的特异性、敏感性、重复性都很好。

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化学分析
浙江 - 绍兴 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
CuPi/Ti<Sub>3</Sub>C<Sub>2</Sub>量子点复合材料制备及基于此光电化学传感器在卡那霉素检测的应用

本发明公开了一种CuPi/Ti3C2量子点复合材料制备及基于此光电化学传感器在卡那霉素检测的应用。所述CuPi/Ti3C2QDs复合材料的制备包括:(1)将CuPi和10‑15mg/mLTi3C2QDs水溶液以质量体积比为2:1‑4:1的量混合,在150W‑300W的超声功率下超声5‑10min,得到混合液;(2)将混合液在室温下于300‑500rpm的转速下搅拌20‑30min,然后在3500‑5000rpm下离心,将沉淀物冷冻干燥得到CuPi/Ti3C2QDs复合材料。所述光电化学传感器是在玻碳电极上自下而上依次负载所述的CuPi/Ti3C2QDs复合材料、金纳米粒子、卡那霉素适配体DNA和BSA。本发明制备的CuPi/Ti3C2QDs复合材料具有良好的能级匹配,并且快速的电子转移为卡那霉素的检测提供较高的灵敏度。所述的光电化学传感器应用于卡那霉素检测,具备良好的灵敏度,在1‑10000pM的范围内具备良好的线性响应。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于电化学检测人血清中miR-100的探针及方法

本发明提供一种基于电化学检测人血清中miR‑100的探针及方法,所述miR‑100的核苷酸序列如SEQ ID No:1所示,所述miR‑100的DNA探针的核苷酸序列如SEQ ID No:2所示。利用DSN酶实现等温扩增同时利用电化学技术监测电流信号的变化,不需要提取RNA及其反转录等复杂的步骤直接检测血清样品中miR‑100含量。本发明方法能够快速准确的检测血清样品中miR‑100的含量。利用电化学的高灵敏检测方法实现对血液中的miRNA直接进行检测,该方法最短只需30min的反应时长明显缩短了反应时间,是一种快速、高效、高敏感性的血清中miR‑100检测方法。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
婴儿奶瓶中危险化学品离散型生物传感检测方法

本发明公开了一种婴儿奶瓶中危险化学品离散型生物传感检测方法,本发明通过共价键结合作用,将BPA适配体(DNA1)和它的互补链(DNA2)分别修饰在AuNPs、UCNPs材料的表面,制备功能化修饰的AuNPs、UCNPs探针(AuNPs‑DNA1、UCNPs‑DNA2);基于荧光共振能量转移原理构建的金纳米淬灭UCNPs荧光的危险化学品检测方法,实现了该生物传感器对危险化学品的高灵敏性检测,稳定性高、可重复性强、灵敏度高。

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化学分析
浙江 - 宁波 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于氧氟沙星快速检测的电化学适配体传感器及制备方法

本发明公开了用于氧氟沙星快速检测的电化学适配体传感器及制备方法,首先制备UIO‑67/rGO复合材料,再将其修饰在玻碳电极表面,在负载适配体P‑APT,构建电化学适配体传感器,并基于该金属框架的电化学适配体传感器检测氧氟沙星,具有操作简单,不需要复杂的前处理步骤,无需有机溶剂提取和洗涤过程,成本低廉、检测速度快的优点。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于无标记癌胚抗原检测的电化学免疫传感器的制备方法

本发明公开了一种用于无标记癌胚抗原检测的电化学免疫传感器的制备方法,所述传感器为采用标准的MEMS工艺加工而成的平面金电极阵列。制备时先依次使用己二硫醇和N-羟基琥珀酰亚胺-聚乙二醇-马来酰亚胺交联剂处理金电极,然后组装上癌胚抗原捕获抗体,再用质量浓度为1%牛血清蛋白的PBS缓冲液封闭,获得所述电化学免疫传感器。本发明将癌胚抗原捕获抗体固定在金电极上,用于癌胚抗原的检测。实验表明该方法构建的电化学免疫传感器可将抗体稳定、简便的固定在金电极表面,传感器检测灵敏度高,检测下限低,特异性强。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于检测HE4浓度的电化学免疫传感器

本实用新型公开了一种用于检测HE4浓度的电化学免疫传感器,包括基底层、电极层和绝缘层,在绝缘层上还开有凹槽,凹槽内设有石墨烯-纳米金膜,并包被了链霉亲和素,通过双抗体夹心法原理将生物素化的HE4一抗、待捕获抗原和辣根过氧化物酶标记的HE4二抗依次修饰到石墨烯-纳米金膜上,即制成了所述的电化学免疫传感器,该传感器结合了免疫反应的特异性和电化学检测的灵敏性,利用了纳米金,石墨烯等新型纳米材料,促进了电子传递,极大地提高了传感器检测的灵敏度。制备的这种传感器具有操作简单、携带方便,检测成本低廉等优点。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
槽罐内化学气体排尽收集控制检测系统

本发明公开了一种槽罐内化学气体排尽收集控制检测系统。在槽罐顶部的安全阀口处安装有安全阀开启装置,安全阀开启装置经驱动控制信号线与现场安全阀开闭驱动控制装置电连接,现场安全阀开闭驱动控制装置连接有天线,安全阀开启装置的出气口连通大气和气体存储罐,槽罐内竖直安装有溢导管,溢导管连通气体存储罐,槽罐底部设有排水口和注水口,其中各路管路的阀和传感器和安全阀开启装置均连接到综合控制检测装置。本发明能够将槽罐车上的槽罐内的各种液化气等化学气体充分排尽,实现了非人工的自动化作业,避免了人工检测槽罐车的问题和麻烦,并具有存储管将气体存储,避免了化学气体的污染和浪费,提高了工作效率。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
同时检测古代壁画三种胶结物的电化学免疫传感器及构建方法及应用

本发明公开了同时检测古代壁画三种胶结物的电化学免疫传感器及构建方法及应用。该传感器利用具有良好吸附能力的介孔二氧化硅纳米材料负载不同的氧化还原探针作为电化学信号探针并通过滴铸法修饰于电极表面,然后覆盖一层具有良好生物相容性的壳聚糖薄膜,为明胶抗体、酪蛋白抗体和卵清蛋白抗体的固定提供良好的吸附能力,同时保持抗原‑抗体识别活性。本发明的电化学免疫传感器可以弥补古代壁画胶结物检测单一目标物的局限性,对进一步开拓文化遗产领域古代壁画检测和保护的新思路具有重要意义。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一次性快速定量PCR电化学检测试纸

本实用新型涉及一次性快速定量PCR电化学检测试纸,包括加热金属板,其特征在于:加热金属板的下端设置有微电磁加热模块,加热金属板上端设置有溶液流道,溶液流道内设置有溶液检测电极,加热金属板的后端设置有温度传感器。本实用新型可以解决传统的电化学试纸无法保证注入样品能够均匀的进行检测,无法控制检测样品的温度等造成的误差,可以实现电化学定量检测的功能。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测核酸的电化学方法

本发明公开了一种检测核酸的电化学方法。本发明的方法包括如下步骤:(1)根据碱基配对原则,设计与目标核酸相匹配的探针DNA或RNA;(2)将探针与待检测对象混合形成核酸杂化溶液;(3)对核酸杂化溶液进行电化学伏安扫描,当出现电化学氧化还原峰时,表明待检测对象包含目标核酸;当未出现电化学氧化还原峰时,表明待检测对象不包含目标核酸。本发明具有特异性高、重复性好、操作经济简单等优点。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于化学检测仪器的服务系统

本发明公开了一种基于化学检测仪器的服务系统,涉及检测技术领域,上述基于化学检测仪器的服务系统包括:依次相连接的前端展示模块、需求输入模块和后台处理模块,使用过程中,先是前端展示模块用来对外展示基于化学检测仪器的多种服务,然后,服务请求输入模块用于监听用户输入的服务请求内容,并且,将服务请求内容转化为服务请求信息,这里的服务请求信息与多种服务中的一种或者多种服务相对应,之后,后台处理模块在多种服务中查找与服务请求信息相对应的服务,并根据查找到的服务生成解决服务请求信息的解决方案,通过上述过程能快速及时的为用户解决化学实验或者化工生产过程中的各种问题,方便快捷。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
应用于铬离子检测的电化学传感器

本发明公开了一种应用于铬离子检测的电化学传感器,属于电化学传感器技术领域。所述电化学传感器包括工作电极,所述工作电极为丝网印刷碳电极,表面修饰了单壁碳纳米管与金纳米颗粒组成的复合物敏感膜。单壁碳纳米管与金纳米颗粒协同作用提高了检测范围和灵敏度,降低了检测下限,对六价铬离子的检测灵敏度高达0.10μA/ppb、检测下限低至8ppb。本发明小巧便携,灵敏度高,响应快,成本低,可快速现场检测环境水体、饮用水及食品中的有毒铬离子。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于化学机械平坦化白光终点检测的采集方法及系统

本发明公开了一种用于化学机械平坦化白光终点检测的采集方法,包括以下步骤:抛光台设置白光检测模块,用于收集白光经过晶圆的反射光谱信号,光谱信号随抛光过程膜厚减少而变化;沿抛光台的周向设置挡件;设置触发单元和采集单元,转动与挡件配合;抛光台带着白光检测模块旋转;触发单元逻辑状态变化,以触发白光检测模块的处理单元,向光谱仪下发等待采集指令;采集单元转动至挡件的起始端,触发光谱仪,开始采集数据;光谱仪停止采集数据;处理单元输出晶圆去除层的膜厚光谱特征。本发明还公开了一种用于化学机械平坦化白光终点检测的采集系统。本发明可实现高转速抛光过程中,在极短采集时间内,对大量白光光谱数据进行稳定且准确的实时提取。

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化学分析
浙江 - 杭州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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