本实用新型公开了一种金相显微镜观察半导体用载样台，包括基座，所述基座的表面固定连接有连接架，所述连接架的表面固定连接有观察台和载片台，本实用新型涉及显微镜技术领域。该金相显微镜观察半导体用载样台，在载片台的内部设置固定机构，通过转动块和转动槽的位置的改变使固定块之间的相对位置被改变，转动块使用透光材料制作，便于观察，固定块的位置会根据转动块的改变进行同步改变，便于载玻片的中心位置与物镜的中心相对于，便于观察载玻片内部的半导体样本，同时采用固定载玻片四面的方式固定载玻片的位置，促使各方面的力难以改变载玻片的位置，使载玻片偏移，观察过程中不会使观察的视角被改变，便于细致观察。

本实用新型公开了一种扫描电子显微镜样品防撞系统，包括：激光束发射模块、CCD探测模块、信号处理系统、运动控制反馈系统和控制中心。其中所述激光束发射模块安装于样品腔室的侧壁上，用于发射一激光束，所述激光束可以是一扫描式激光束或一字线激光束；所述CCD探测模块安装于与所述激光束发射模块相对的侧壁上，用于对穿过样品室的激光束进行探测，产生探测信号；所述信号处理系统对CCD探测模块的探测信号进行处理，用于判断样品是否超过激光束限位高度；所述运动控制反馈系统根据所述信号处理系统的结果做出判断，控制样品台进行下一步动作；所述控制中心对整个系统进行控制，使其能够协调运转。