蓄热式热力焚化炉英文名为“Regenerative Thermal Oxidizer”，故简称为“RTO”。其原理是把有机废气加热到800摄氏度以上，使废气中的VOC氧化分解成二氧化碳和水。氧化产生的高温气体流经特制的陶瓷蓄热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此“蓄热”用于预热后续进入的有机废气，从而节省废气升温的燃料消耗。陶瓷蓄热体应分成三个区域室，每个蓄热室依次经历蓄热-放热-清扫等程序，周而复始，连续工作。蓄热室“放热”后应立即引入部分已处理合格的洁净排气对该蓄热室进行清扫(以保证VOC去除率在95%以上)

铒碲颗粒靶材(ErTe)是以高纯金属铒(Er)和碲(Te)为原料，经真空熔炼、机械合金化及热等静压烧结工艺制备的金属间化合物材料，纯度≥99.99%，密度≥9.2 g/cm³。其具备独特的光电性能与高温稳定性(熔点>1500℃)，适配磁控溅射、脉冲激光沉积(PLD)等工艺，用于沉积红外光学薄膜、量子材料功能层及热电转换器件。