近日,华远装备自主研发的首台钙钛矿叠层PVD量产/中试设备(DSL701)顺利搬入客户现场,标志着华远装备在钙钛矿太阳能电池领域迈出了实质性的一步,进一步巩固了其在新能源装备领域的领先地位。
此次交付的钙钛矿叠层PVD中试线设备(PED)是华远装备针对异质结-钙钛矿叠层技术路线精心开发的一款卧式设备。该设备年产能高达250MW,能够高效地完成钙钛矿层前(P面100nm TCO,N面30nm TCO+20nm NiOx)和后(N面100nm TCO)的两道工序。通过集成RPD技术,并配备低损平面靶和超强磁场,该设备实现了低损、低温溅射,从而最大限度地提升了芯片效率。
作为华远装备首台集成了RPD+PVD技术的设备,DSL701的成功交付不仅展示了华远在钙钛矿太阳能电池技术研发方面的深厚实力,更标志着其在异质结叠加钙钛矿领域取得了实质性的技术突破。这一里程碑式的成果为后续钙钛矿太阳能电池的产业化应用奠定了坚实的基础,也为华远装备在新能源领域的发展注入了新的活力。