靶材加工与应用的技术创新,核心在于打通从微观结构调控到宏观服役性能的全链条优化。在制备端,突破传统冶金工艺局限,通过粉末冶金与等离子烧结技术实现纳米级晶粒的均匀控制,结合数值模拟优化旋转靶材的绑定工艺,有效消除焊接应力、大幅提升靶材致密度与溅射均匀性。在应用端,面向3纳米及以下制程对高纯金属靶材杂质敏感度和膜层一致性的极致挑战,通过溅射工艺精准调控与失效分析技术迭代,结合数字孪生优化腔体磁场分布,显著提升靶材利用率;同时,显示领域氧化物靶材通过稀土掺杂改性成功兼顾高迁移率与高稳定性,为柔性可穿戴显示乃至三维存储器产业化铺平道路。在生态端,绿色循环再生技术的集成创新正在重塑产业格局,通过对废旧靶材中稀有金属的高效回收与闭环利用,构建起从材料设计、精密加工到循环再利用的可持续创新体系。
为推动靶材加工与应用领域技术创新与发展,搭建学术界与产业界的高水平交流平台,由宁波江丰电子材料股份有限公司、北京科技大学、粉末冶金全国重点实验室主办,北方中冶(北京)工程咨询有限公司承办的“2026全国靶材加工与应用技术研讨会”定于2026年7月21—23日在浙江省余姚市召开。
本次会议聚焦靶材从基础研究到产业应用的关键技术突破,重点围绕高性能靶材的精密制备、应用工艺优化、特种功能拓展及绿色循环再生等核心课题展开深入研讨。希望各单位管理和技术人员踊跃参会。








