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致真精密仪器 | 青岛市新经济潜力企业~邀您参加“第二届全国先进金属功能材料制备/加工及应用技术交流会”

编辑：中冶有色技术网 2023-03-02 11:16:03

致真精密仪器（青岛）有限公司是以集成电路产线测试设备、高端科学仪器研发和生产为主要业务的国家高新技术企业。在中国集成电路制造行业迅速发展、芯片研发和制造环节各类设备亟需自主可控的背景下，致真精密仪器通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业资源整合等手段对国内尚未实现自主研发能力的相关高端仪器设备展开工程攻关。自 2019 年成立以来，公司已经汇聚各类人才近百人，打造了光、电、精密机械、测控及自动化、软件和算法等工种齐全的工程团队，通过建设青岛市集成电路测试设备专家工作站等方式，引进专家级人才若干。公司在北京和杭州设有子公司。目前，公司面向磁性芯片和集成电路制造领域的需求，已经研发了一系列国内首台套的高端设备，包括中国首台商用磁光克尔显微镜、产业级晶圆磁光克尔测试仪等，产品已经应用于清华大学、中国科学院等国内顶尖科研机构和知名集成电路制造公司。致真精密仪器（青岛）有限公司还应邀参加由中冶有色技术平台、中南大学、合肥工业大学、东北大学、河北科技大学、四川大学等单位联合主办的“第二届全国先进金属功能材料制备/加工及应用技术交流会”会议定于2023年3月17-19日在安徽省合肥市召开，届时邀请您共襄盛会~。

1、多功能高分辨磁光克尔显微成像系统
型号：KMPL-Spin-X

磁光克尔显微镜是利用磁光克尔效应，直接观测磁性材料和器件中的磁化状态的光学显微成像设备。与传统的电学测试相比，磁光克尔显微成像测试能清晰直观了解样品内的磁化状态空间分布和时间演化，适用于磁性材料和自旋电子器件的测试和产品研发。
公司于2020年自主开发出中国首款商用多功能磁光克尔显微镜测试系统。

2、晶圆级磁光克尔测量仪
型号：Wafer-MOKE

利用极向磁光克尔效应(MOKE)，快速全局检测晶圆膜堆的磁性。非接触式测量，避免了传统磁性表征对晶圆的破坏，可应用于图形化前后的样品检测。高达2.5 T垂直磁场，可诱导垂直各向异性磁性随机存储器（MRAM）膜堆的自由层、参考层与钉扎层的翻转；超高克尔检出灵敏度，可以单次同时表征不同膜层的细微磁性变化。将激光逐点探测与扫描成像结合，可以快速创建晶圆磁特性全局图谱，辅助工艺优化与良率控制。

3、一维面内磁场探针台
型号：PS1DX-MS

设备用途：磁电阻测量、二次谐波、ST-FMR
领域：导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件
技术指标：面内磁场：最大0.5T@3cm磁极间距，1T@1.5cm磁极间距，磁场均匀性优于 ±1%@2mm，分辨率优于0.02mT，样品尺寸 ≤30mm*30mm， 4探针或绑线直流测试座，支持样品360°旋转

4、科研级高精度磁滞回线测量仪
型号：PL-MOKE

利用磁光克尔效应，对铁磁、人工反铁磁、二维材料和微电子器件的磁性进行高精度表征。能同时施加面内和垂直磁场，对面内磁化分量和垂直磁化分量进行同时扫描，即能够同时获得面内磁场/垂直磁场-面内分量/垂直分量任意组合的磁滞回线。克尔转角检出精度高达0.3 mdeg（RMS），可检测单原子层磁化强度。提供可绑线样品托，可进行电学-磁光特性的表征。