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MEMS芯片组件

777   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:37:13
本实用新型提供了一种MEMS芯片组件，MEMS芯片组件包括基板及安装于所述基板上的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括具有腔体的基底以及设置于所述基体上的感测部，所述MEMS芯片通过胶水贴设于所述基板，所述基底包括围设成所述腔体的内壁，所述基底还包括自所述内壁向所述腔体内部延伸的胶水阻挡层。本实用新型可以有效防止贴片胶水上溢至MEMS芯片顶部，避免了胶水污染振膜造成的麦克风性能失效。不仅如此，胶水阻挡层可以增大胶水与MEMS芯片底部的结合面积，使MEMS芯片与基板的连接更加牢固，增强了麦克风器件抵抗跌落和振动的能力，提升了可靠性。
声明：
“MEMS芯片组件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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