本发明公开一种用于光学元器件检测的高精度测厚仪，其包括机台、居中固定组件以及位移测定组件，其中，所述居中固定组件固定安装在机台上端面的右侧，用于对待检测光学元器件进行居中夹持固定，所述位移测定组件设置在居中固定组件的正上方，以便对待测量光学元器件进行厚度检测，所述机台上还设置有辅助照明灯，所述位移测定组件滑动设置在气动滑轨上，以实现位移测定组件的上下精确位移；所述位移测定组件与居中固定组件的竖直方向上的中心轴线相互共线，以便实现对待检测光学元器件的中心厚度进行精确的测量。