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一种生长半绝缘砷化镓单晶的掺碳装置及掺碳方法

603   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:32:51
一种生长半绝缘砷化镓单晶的掺碳装置及掺碳方法，涉及半导体材料技术领域，包括石英管和PBN坩埚组，PBN坩埚组装于石英管内，石英管的两端安装有密封卡头，石英管的两端分别设置有管路，分别称为充气管路和排气管路，充气管路上设置有通断阀门三，充气管路上游为两个并联的支气管路，分别称为充氧管路和充碳管路，充氧管路连接有氧气源，充碳管路连接有碳气源，并且均通过阀门控制氧气源或碳气源的通断；排气管路的下游为两个并联的支气管路，分别称为放气管路和抽真空管路，放气管路上设置有阀门，抽真空管路上连接有抽真空装置。本申请可分别实施充氧烘烤工艺和C沉积工艺，两个工艺在同一设备上依次进行，简化了设备，节省了热能损耗。
声明：
“一种生长半绝缘砷化镓单晶的掺碳装置及掺碳方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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