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等离子聚焦离子束系统

等离子聚焦离子束系统

1865
规格/型号：卡尔蔡司CROSSBEAM350
品牌：暂无
应用领域：暂无
产地：北京 - 北京
厂家/供应商：北京依维特技术服务有限公司
咨询电话:：暂无（请说明信息源自“中冶有色技术网”）
更新时间：2022-01-06
级别：已认证

等离子聚焦离子束系统说明介绍

简介 蔡司双束电镜CROSSBEAM系列，是专为高通量3D分析和样品加工制备量身打造的FIB-SEM双束电镜。CROSSBEAM系列将场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)镜筒强大的成像和分析性能与全新一代聚焦离子束(FIB)出色的加工能力相结合。无论是加工、成像或进行3D分析，都能在不损失精度的前提下，提高聚焦离子束的应用效率。 工作原理 1，生命科学，如断层扫描，三维重构
2，电池领域，如原子层组分表征
3，半导体领域，如失效分析，电路修复
4，金属领域，如界面分析，亚表面分析
5，材料科学，如晶体微观结构分析，纳米图形化加工
6，透射电镜、EBSD、微观力学等多种样品的原位制备
7，微纳加工 技术参数
  • 电子束流5pA100nA
  • 分辨率3nm@30KV
  • 检测器lens Se、 Inlens esB、可变气压二次电子探测器VPSE、二次电子二次离子探测器SESI、扫描透射电子探测器STEM、背散射探测器BSD
选型原则 检测能力：SEM截面 、TEM制样 、三维重构 应用案例 设备结构     蔡司双束电镜CROSSBEAM系列，是专为高通量3D分析和样品加工制备量身打造的FIB-SEM双束电镜。CROSSBEAM系列将场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)镜筒强大的成像和分析性能与全新一代聚焦离子束(FIB)出色的加工能力相结合。无论是加工、成像或进行3D分析，都能在不损失精度的前提下，提高聚焦离子束的应用效率。
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